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クラスターイオンビーム基礎と応用: 次世代ナノ加工プロセス
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クラスターイオンビーム基礎と応用: 次世代ナノ加工プロセス

¥8,580（税込）
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アイテム説明

商品詳細

クラスターイオンビーム基礎と応用: 次世代ナノ加工プロセス

出版社‎日刊工業新聞社 (2006/10/1)
発売日‎2006/10/1
言語‎日本語
単行本‎223ページ

内容説明

本書は、イオンビーム技術の発展を、その技術的背景もあわせて示しながら、イオンビーム技術に初めて接する初心者にもわかりやすく説明しています。
目次
１　イオンビーム技術の概要（イオンの発見；イオンビーム技術の誕生　ほか）
２　ガスクラスタービームの発生（ガスクラスタービームの発生の原理；ガスクラスターイオンビーム装置　ほか）
３　クラスターイオンビームと固体表面相互作用（クラスターイオンの個体表面衝突現象；ガスクラスターイオンの照射効果の特長　ほか）
４　ナノ加工プロセス応用（半導体デバイス応用；磁性・誘電体デバイス応用　ほか）
５　産業用クラスターイオンビーム装置（ガスクラスターイオンビーム装置；デカボランイオン注入装置）

商品の情報

カテゴリー:本・雑誌・漫画>>>本>>>コンピュータ・IT
商品の状態: 目立った傷や汚れなし


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